AMHS 系统搬运效率仿真分析及优化设计

作　　者： 彭新华；李广；姚劭诚

摘　　要： 自动物料搬送系统（Automatic Material Handling System, AHMS）作为物料存储及投递自动化生产的核心系统。如何有效提升晶圆制造 AMHS 的搬运效率及可靠性也一直是半导体晶圆制造系统高效发展亟需解决的问题。文章以整体式 AMHS 为研究对象，构建了一种基于匈牙利算法的 AMHS 调度方法（HABS 调度算法）来提升搬运效率。

来　　源： 《信息产业报道》 2026-01