多层光学膜厚控制中的实时监测方法研究

作　　者： 丁爱玲

摘　　要： 多层光学薄膜的纳米级厚度精度是保障精密光学器件性能的核心要素。针对当前主流的石英晶体微天平法和光学极值法在实时性与抗干扰能力上的局限，本研究提出了一种理论驱动的动态监测框架。该框架基于光谱椭偏仪实时探测的偏振态演化数据，深度融合镀膜工艺关键物理参数，并通过长短期记忆神经网络构建膜厚生长的时序预测模型。实验验证表明，该方法可实现亚纳米尺度误差控制并显著提升响应速度，为满足高精度光学制造的国家战略性新兴产业需求提供了坚实的理论支撑与技术方案。

来　　源： 《信息产业报道》 2025-10